Radyo Frekans Magnetron Sıçratma Tekniği ile Altın/Paladyum (Au/Pd) Bimetalik İnce Film Biriktirme

Şenay, Volkan

doi:10.21597/jist.513363

Radyo Frekans Magnetron Sıçratma Tekniği ile Altın/Paladyum (Au/Pd) Bimetalik İnce Film Biriktirme

MakaleYalnız künye

Özet

Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.

Anahtar Kelimeler

Malzeme Bilimleri, Kaplamalar ve Filmler

RDL Kalıcı Bağlantı (PID)

https://rdlopen.rawdatalibrary.net/r/bayburt/15028Resmi atıflarda kullanılan kalıcı adres

DOI

https://doi.org/10.21597/jist.513363Yayıncı resmi DOI adresi

İndeks kayıtları

TR Dizin'de ara

Kaydın indeks veri tabanlarındaki sayfası (aktarımda alınan kayıt numarasıyla). Erişim, indeksin kendi koşullarına bağlıdır.

Atıflar

TR Dizin: 0

Her kaynağın kendi saydığı toplam atıf; aktarım ve zenginleştirme sırasında alındı.

Tam Kayıt

Alan	Değer	Dil
dc.contributor.author	Şenay, Volkan
dc.date.accessioned	2026-10-29T19:19:58.936502599Z
dc.date.available	2026-10-29T19:19:58.936502599Z
dc.date.issued	2019
dc.description.abstract	Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.
dc.identifier.doi	10.21597/jist.513363
dc.identifier.eissn	2536-4618
dc.identifier.endpage	1384
dc.identifier.issn	2146-0574
dc.identifier.issue	3
dc.identifier.startpage	1377
dc.identifier.uri	https://rdlopen.rawdatalibrary.net/r/bayburt/15028
dc.identifier.volume	9
dc.language.iso	en
dc.relation.ispartof	Iğdır Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi
dc.rights	info:eu-repo/semantics/closedAccess
dc.subject	Malzeme Bilimleri, Kaplamalar ve Filmler
dc.title	Radyo Frekans Magnetron Sıçratma Tekniği ile Altın/Paladyum (Au/Pd) Bimetalik İnce Film Biriktirme
dc.type	Article
rdl.citation.trdizin	0
rdl.source.index	TRDIZIN