<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><OAI-PMH xmlns="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xsi:schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/ http://www.openarchives.org/OAI/2.0/OAI-PMH.xsd"><responseDate>2026-10-30T01:50:48Z</responseDate><request verb="GetRecord" identifier="oai:bayburt-rdlopen.rawdatalibrary.net:bayburt/15028" metadataPrefix="oai_dc">https://bayburt-rdlopen.rawdatalibrary.net/oai/request</request><GetRecord><record><header><identifier>oai:bayburt-rdlopen.rawdatalibrary.net:bayburt/15028</identifier><datestamp>2026-10-29T19:19:58Z</datestamp><setSpec>openaire</setSpec><setSpec>com_bayburt_10000</setSpec><setSpec>col_bayburt_10001</setSpec></header><metadata><oai_dc:dc xmlns:oai_dc="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/" xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xsi:schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/ http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc.xsd"><dc:title>Radyo Frekans Magnetron Sıçratma Tekniği ile Altın/Paladyum (Au/Pd) Bimetalik İnce Film Biriktirme</dc:title><dc:creator>Şenay, Volkan</dc:creator><dc:subject>Malzeme Bilimleri, Kaplamalar ve Filmler</dc:subject><dc:description>Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.</dc:description><dc:date>2019</dc:date><dc:type>Article</dc:type><dc:identifier>https://rdlopen.rawdatalibrary.net/r/bayburt/15028</dc:identifier><dc:identifier>https://doi.org/10.21597/jist.513363</dc:identifier><dc:identifier>2146-0574</dc:identifier><dc:language>en</dc:language><dc:relation>Iğdır Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi</dc:relation><dc:rights>info:eu-repo/semantics/closedAccess</dc:rights><dc:type>info:eu-repo/semantics/article</dc:type><dc:identifier>https://bayburt-rdlopen.rawdatalibrary.net/tr/items/bayburt/15028</dc:identifier></oai_dc:dc></metadata></record></GetRecord></OAI-PMH>